Die Mikrorobotik und Mikrosystemtechnik (MST) wird als eine Schlüsseltechnologie mit großem Anwendungspotential, vor allem in der Medizin-, Fertigungs-, Kommunikations-, Bio- und Umwelt- sowie Verkehrstechnik, betrachtet. Trotz des wachsenden Interesses findet man kaum eine Lehrveranstaltung, in der alle wichtigen Bestandteile dieser breitgefächerten Forschungsrichtung behandelt worden wären. Um diese Lücke zu schließen, bietet die Abteilung für Mikrorobotik und Regelungstechnik (AMiR) diese Vorlesung an. Sie soll einen Überblick über die Mikrorobotik und MST, ihre Anwendungsgebiete sowie Lösungsansätze bei der Entwicklung verschiedenartiger Mikrosysteme geben. Die Vorlesung wird durch zahlreiche Beispiele und praktische Ergebnisse veranschaulicht. **Fachkompetenzen** Die Studierenden: - benennen die Ideen, Probleme und Aktivitäten der Mikrorobotik und Mikrosystemtechnik - beschreiben die Anwendungen der Mikrorobotik und MST - charakterisieren Verfahren der MST - beschreiben die Mikromechanik auf Silizium-Basis - benennen die Prinzipien von Mikrosensoren - beschreiben Beispiele von Mikrosensoren - diskutieren informationstechnische Aspekte der MST - klassifizieren Mikroroboter **Methodenkompetenz** Die Studierenden: - erkennen fächerübergreifende Zusammenhänge sowie funktionale Verknüpfungen von naturwissenschaftlichen und technischen Disziplinen. - erlernen die technische Abstraktion komplexer Zusammenhänge **Sozialkompetenz** Die Studierenden: - lösen Problemstellungen teilweise in der Gruppe. - präsentieren der Gruppe ihre Lösungsansätze **Selbstkompetenz** Die Studierenden: - reflektieren ihr Wissen über die technischen Informatik - erlernen die eigenständige Vertiefung ihrer fachlichen Kompetenz

Mikrorobotik und MST: Ideen, Probleme, Aktivitäten; Anwendungen der Mikrorobotik und MST; Verfahren der MST; Mikromechanik auf Silizium-Basis; LIGA-Verfahren; Mikroaktoren: Prinzipien und Beispiele (elektrostatische, piezoelektrische, magnetostriktive, elektromagnetische, Formgedächtnis-, thermomechanische, elektrorheologische und andere Aktoren); Mikrosensoren: Prinzipien und Beispiele (Kraft- und Druck-, Positions- und Geschwindigkeits-, Beschleunigungs-, Bio- und chemische, Temperatur- und andere Sensoren); informationstechnische Aspekte der MST; Entwurf und Simulation in der MST; Klassifikation von Mikrorobotern; Grobpositionierung von Mikrorobotern; Feinpositionierung von Mikrorobotern; Handhabung von Mikroobjekten: Probleme und Lösungen; Mikrogreiftechniken; Mikromontage; mikroroboterbasierte Prozessautomatisierung; Desktop-Roboterzellen im Rasterelektronenmikroskop.

**Essentiell:** - Vorlesungsskript in Buchform **Empfohlen:** - Fatikow, S.: Mikroroboter und Mikromontage, Teubner, Stuttgart Leipzig, 2000 - Fatikow, S./Rembold, U.: Microsystem Technology and Microrobotics, Springer, Berlin Heidelberg New York, 1997 - Menz, W. und Mohr, J.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure, VCH, Weinheim, 1997 **Gute Sekundärliteratur:** - Brück, A. und Schmidt, A.: Angewandte Mikrotechnik, Hanser, München Wien, 2001 - Ehrfeld, W. (Hrsg.): Handbuch Mikrotechnik, Hanser, München Wien, 2000 - Elbel, Th.: Mikrosensorik, Vieweg, Wiesbaden, 1996 - Fukuda, T. and Menz, W. (Eds.): Micro Mechanical Systems, Elsevier, Amsterdam, 1998 - Gardner, J.W.: Microsensors, Wiley, Chichester, 1994 - Gerlach, G. und Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser, München Wien, 1997 - Krause, W.: Fertigung in der Feinwerk- und Mikrotechnik, Hanser, 1995 - Mescheder, U.: Mikrosystemtechnik, Teubner, Stuttgart Leipzig, 2000 - Tränkler, H.-R. und Obermeier, E. (Hrsg.): Sensortechnik, Springer, Berlin Heidelberg, 1998 - Völklein, F. und Zetterer, Th.: Einführung in die Mikrosystemtechnik, Vieweg, Wiesbaden, 2000

Am Ende der Vorlesungszeit

Fachpraktische Übung und mündliche Prüfung auf Deutsch