Allgemeine Informationen
Veranstaltungsname | Vorlesung: 5.04.643 Micro Technology |
Untertitel | |
Veranstaltungsnummer | 5.04.643 |
Semester | SoSe2022 |
Aktuelle Anzahl der Teilnehmenden | 18 |
Heimat-Einrichtung | Institut für Physik |
Veranstaltungstyp | Vorlesung in der Kategorie Lehre |
Erster Termin | Montag, 25.04.2022 12:15 - 15:45, Ort: W32 1-113 |
Art/Form | |
Lernorganisation |
Literature: F.Völklein, Th.Zetterer: Einführung in die Mikrosystemtechnik (Vieweg) Menz/Mohr/Paul: Micro System Technology (Wiley-VCH; also in German) Mack: Fundamental principles of Optical Lithography (Wiley) Suzuki/Smith; Microlithography (CRC) Bäuerle: Laser Processing and Chemistry (Springer) Sinzinger/Jahns: Microoptics (Wiley) Further literature according indication during course |
Leistungsnachweis | 1hr written examination |
Lehrsprache | englisch |
ECTS-Punkte | 3 |